产品功能：

◆采用一套多臂气动机械手传动，定位精准，效率高。

◆人机界面，PLC程序控制，触摸屏操作。

◆水系型清洗剂、DI水、IPA清洗干燥。

◆间接式导热油加热方式，全自动IPA检测、灭火装置。

◆机架及全封闭外罩HEPA高效空气过滤器，防止二次污染。

◆采用多种清洗频率清洗设备：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。